水洗式尾氣處理設備

Category: 尾氣處理設備

產品用途：水洗式尾氣處理設備(Wet SCRUBBER)是一個專門處理現(xiàn)場各種制程廢氣的系統(tǒng)，在水溶解的過程中，將制程所產生的廢氣，反應成溶解于水中的物質，再經(jīng)由另一道程序而排放至廠務處理系統(tǒng)，所處理的廢氣，包含大部份半導體廠所使用的特殊氣體，維修保養(yǎng)的頻率少且時間短，不會影響生產的時程。

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　　2.1 產品概述

　　產品用途：水洗式尾氣處理設備(Wet SCRUBBER)是一個專門處理現(xiàn)場各種制程廢氣的系統(tǒng)，在水溶解的過程中，將制程所產生的廢氣，反應成溶解于水中的物質，再經(jīng)由另一道程序而排放至廠務處理系統(tǒng)，所處理的廢氣，包含大部份半導體廠所使用的特殊氣體，維修保養(yǎng)的頻率少且時間短，不會影響生產的時程。

　　產品功能和原理：在水溶解的過程中，將制程所產生的廢氣，反應成溶解于水中的物質，再經(jīng)由另一道程序而排放至廠務處理系統(tǒng)，產生的副產品如顆粒等通過收集系統(tǒng)收集。

　　優(yōu)點：處理的氣體包括：NH3、HCL、BCl3、Cl2 等。整機設計美觀，安全標準，擁有處理量大、效率高、及長時間運轉，操作容易上手，保養(yǎng)簡單快速、零部件經(jīng)久耐用

　　產品應用：MOCVD、PECVD、刻蝕機等配套設備，應用于半導體行業(yè)、太陽能電池行業(yè)制程中產生的廢氣。

關鍵詞：

制程廢氣

尾氣處理設備

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